AOI Auto Optic Inspection 光学自动检查机

功能 由机构硬件定位搭配高分辨率CCD，来回拍照扫描后，透过高速影像比对后，将检测结果之瑕疵影像依照用户定义格式储存，并汇整瑕疵信息，提供后端设备与使用者判断所需之档案。

内部Stage 机构规格 X/Y 轴线性马达 Z 轴步进马达 气浮式避震台 钢构底床 花岗岩平台

功能说明

▓瑕疵判定(光阻残留、破损、粉尘、脏污)

▓瑕疵MAP示意图观看(Defect Map)

▓产品OK/NG判定规格(Judge Rule)

▓瑕疵类型(Dark/Bright Defect)

▓瑕疵尺寸定义(S、M、L)

▓产品规格Recipe显示

▓影像撷取图像观看

AOI  图例

             刮伤                                电路瑕疵                          其他缺陷