AOI Auto Optic Inspection 自動光学検査装置

PRODUCT　機能 ハードウェアの位置決め機能と高解析CCDを組み合わせることによって、往復撮影スキャン後、高速映像照合を行い、検出された不良箇所の映像を使用者の設定に応じた形式で保存し、全ての不良情報を収集整理、バックエンド設備と使用者の判断に必要なファイルを提供します。

PRODUCT 内部ステージ 機構スペック XY軸リニアモータ Z軸ステッピングモータ 空気ばね式防震台 スチール台座 花崗岩作業台

機能説明：

▓不良判定（フォトレジスト残留、破損、粉塵、汚れ）

▓不良MAP図示ビュー（Defect Map）

▓製品OK/NG判定規格(Judge Rule)

▓不良類型(Dark/Bright Defect)

▓不良サイズ定義(S、M、L)

▓製品規格とRecipe表示

▓映像読み取り画像ビュー

AOI画像例

            こすり傷　                        回路不良　                    その他不良