AOI Auto Optic Inspection 光學自動檢查機

功能 由機構硬件定位搭配高分辨率CCD，來回拍照掃描後，透過高速影像比對後，將檢測結果之瑕疵影像依照用户定義格式儲存，並彙整瑕疵信息，提供後端設備與使用者判斷所需之檔案。

内部Stage 機構規格 X/Y 軸線性馬達 Z 軸步進馬達 氣浮式避震台 鋼構底床 花崗岩平台

功能說明

▓瑕疵判定(光阻殘留、破損、粉塵、髒污)

▓瑕疵MAP示意圖觀看(Defect Map)

▓產品OK/NG判定規格(Judge Rule)

▓瑕疵類型(Dark/Bright Defect)

▓瑕疵尺寸定義(S、M、L)

▓產品規格Recipe顯示

▓影像擷取圖像觀看

AOI  圖例

             刮傷                                電路瑕疵                          其他缺陷